Добављач мета за распршивање волфрама
Уобичајене врсте металних мета су следеће:
Конвенционалне металне мете: магнезијум Мг, манган Мн, гвожђе Фе, кобалт Цо, никл Ни, бакар Цу, цинк Зн, олово Пд, калај Сн, алуминијум Ал
Мале металне мете: индијум, германијум Ге, галијум Га, антимон Сб, бизмут Би, кадмијум Цд
Ватростални метални циљни материјали Титан Ти, Цирконијум Зр, Хафнијум Хф, Ванадијум В, Ниобијум Нб, Тантал Та, Хром Цр, Молибден Мо, Волфрам В, Ренијум Ре
Производња мете за распршивање волфрама
Мете од племенитих метала: злато Ау, сребро Аг, паладијум Пд, платина Пт, иридијум Ир, рутенијум Ру, родијум Рх, осмијум Ос
Полуметалне мете: угљеник Ц, бор Б, телур Те, селен Се
Ретки земни метал гађају гадолинијум Гд, самаријум См, диспрозијум Ди, церијум Це, итријум И, лантан Ла, итербијум Иб, ербијум Ер, тербијум Тб, холмијум Хо, тилијум Тм, неодимијум Нд, празеодимијум Еурпу Пр, лаутијум Сц
Керамичка мета алуминијум цинк оксид АЗО, индијум калај оксид ИТО, цинк оксид ЗнО, алуминијум нитрид АлН, титанијум нитрид ТиН, бор нитрид БН, баријум титанат БаТиО3, бизмут титанат БиТиО3, силицијум карбид титанијум ти3, карбид титанијум ти3 биде ВЦ, литијум ниобат ЛиНбО3
Тунгстен Спуттеринг Таргет фацтпри
Мете легуре укључују легуру злато-калај АуСн, легуру злата-германијум-никл АуГеНи, легуру цинк-алуминијума ЗнАл, легуру алуминијум-бакар АлЦу, легуру кобалт-гвожђе-бор ЦоФеБ, легуру гвожђа-мангана ФеМн, иридијум-манган, алоријум-манган, али - легура титанијума ЗрТи, легура никл-хрома НиЦр, легура бакра индијум галијума ЦуИнГа, легура бакра цинк калај сумпора ЦЗТС
